Halbleitermesstechnik
Halbleitermesstechnik, Charakterisierung, Bauelemente, Qualtitätskontrolle
Zielgruppe: Ingenieure mit FH bzw. Universitätsabschluss
Nach dem Seminar verfügen die Teilnehmer über grundlegendes Verständnis der wichtigsten Verfahren zur Charakterisierung von Halbleiterwerkstoffen. Des weiteren werden die Teilnehmer befähigt eine Auswahl geeigneter Verfahren für die Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu treffen.
Voraussetzungen: keine
Dauer: 4 Tage (32 UE)
Inhalt:
- Kristallstrukturanalyse, Röntgenbeugung
- Epitaxie-Schichten, Nanostrukturen
- analytische Elektronenmikroskopie
- Bandstruktur, Bandlücke, effektive Masse
- piezoresistiver Effekt
- Hall-Verfahren, CV-Methode
- Fourier-Transformationsspektroskopie
- Verunreinigungen und Defekte
- Diffusionslänge
- Metall-Halbleiterübergang, Schottky-Kontakt
- Ohmscher Kontakt, Schichtwiderstand
- Oxidschichten, Ellipsometrie
- Bauelementkenndaten
Termine auf
Hinweis:
Wenn Sie an einer unseren Weiterbildungen teilnehmen möchten, können Sie unter bestimmten Voraussetzungen einen Zuschuss aus einem der Förderprogramme von Bund und Ländern beantragen. Der Kurs kann beispielsweise mithilfe eines Bildungsgutscheines finanziert werden.